Наукова періодика України Технологія та конструювання в електронній апаратурі

Буйко Л. Д. 
Диагностика полупроводниковых структур при разработке и производстве изделий микроэлектроники / Л. Д. Буйко, В. Н. Пономарь, А. А. Солонинко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. - 2002. - № 1. - С. 40-42. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/TKEA_2002_1_11
Доказана эффективность использования уникального аналитического оборудования на крупном предприятии по разработке и производству изделий микроэлектроники. Отмечено, что аналитические средства обеспечивают входной контроль количественного состава примесей на уровне <$E>>> 1013 ат/см<^>3 в монокристаллическом кремнии, полупроводниковых структурах, а также контроль геометрических размеров элементов изделий, толщин тонких (<$E>>> 1,0 нм) пленок диэлектриков, металлов и полупроводников.
  Повний текст PDF - 580.489 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Буйко Л.
  • Пономарь В.
  • Солонинко А.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Буйко Л. Д. Диагностика полупроводниковых структур при разработке и производстве изделий микроэлектроники / Л. Д. Буйко, В. Н. Пономарь, А. А. Солонинко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. - 2002. - № 1. - С. 40-42. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/TKEA_2002_1_11.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського