Метод и устройство измерения диаметра слитка GaAs в процессе выращивания методом с жидкостной герметизацией

Оксанич, А. П.; Притчин, С. Э.; Петренко, В. Р.; Тербан, В. А.


	Наукова періодика України		Прикладная радиоэлектроника

Оксанич А. П.
Метод и устройство измерения диаметра слитка GaAs в процессе выращивания методом с жидкостной герметизацией / А. П. Оксанич, С. Э. Притчин, В. Р. Петренко, В. А. Тербан // Прикладная радиоэлектроника. - 2012. - Т. 11, № 1. - С. 54-62. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Prre_2012_11_1_9

Повний текст PDF - 1.6 Mb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Оксанич А. П. Метод и устройство измерения диаметра слитка GaAs в процессе выращивания методом с жидкостной герметизацией / А. П. Оксанич, С. Э. Притчин, В. Р. Петренко, В. А. Тербан // Прикладная радиоэлектроника. - 2012. - Т. 11, № 1. - С. 54-62. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Prre_2012_11_1_9.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Оксанич Анатолій Петрович (технічні науки)

Притчин Сергій Емільович (технічні науки)

Петренко Василь Радіславович (технічні науки)

Тербан Віктор Андрійович (технічні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача