Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C60

Малеев, М. В.; Зубарев, Е. Н.; Пуха, В. Е.; Дроздов, А. Н.; Вус, А. С.; Девизенко, А. Ю.


	Наукова періодика України		Фізична інженерія поверхні

Малеев М. В.
Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C60 / М. В. Малеев, Е. Н. Зубарев, В. Е. Пуха, А. Н. Дроздов, А. С. Вус, А. Ю. Девизенко // Фізична інженерія поверхні. - 2015. - Т. 13, № 1. - С. 91-104. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2015_13_1_15

Повний текст PDF - 366 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Малеев М. В. Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C60 / М. В. Малеев, Е. Н. Зубарев, В. Е. Пуха, А. Н. Дроздов, А. С. Вус, А. Ю. Девизенко // Фізична інженерія поверхні. - 2015. - Т. 13, № 1. - С. 91-104. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2015_13_1_15.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Дроздов Антон Миколайович (1980–) (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача