Эволюция структуры пленок Mo, полученных методом магнетронного распылении на a-Si

Севрюкова, В. А.; Зубарев, Е. Н.; Кондратенко, В. В.; Першин, Ю. П.; Цебенко, В. О.


	Наукова періодика України		Фізична інженерія поверхні

Севрюкова В. А.
Эволюция структуры пленок Mo, полученных методом магнетронного распылении на a-Si / В. А. Севрюкова, Е. Н. Зубарев, В. В. Кондратенко, Ю. П. Першин, В. О. Цебенко // Фізична інженерія поверхні. - 2011. - Т. 9, № 2. - С. 102-114. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2011_9_2_3

Повний текст PDF - 542.084 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Севрюкова В. А. Эволюция структуры пленок Mo, полученных методом магнетронного распылении на a-Si / В. А. Севрюкова, Е. Н. Зубарев, В. В. Кондратенко, Ю. П. Першин, В. О. Цебенко // Фізична інженерія поверхні. - 2011. - Т. 9, № 2. - С. 102-114. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2011_9_2_3.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Севрюкова Вікторія Анатоліївна (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача