Травление поверхности металлов в плазме аргона

Капустин, В. Л.; Корж, А. Ф.; Широков, Б. М.


	Наукова періодика України		Фізична інженерія поверхні

Капустин В. Л.
Травление поверхности металлов в плазме аргона / В. Л. Капустин, А. Ф. Корж, Б. М. Широков // Фізична інженерія поверхні. - 2007. - Т. 5, № 1-2. - С. 84-86. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2007_5_1-2_12

Повний текст PDF - 200.812 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Капустин В.

Корж А.

Широков Б.

Бібліографічний опис для цитування:

Капустин В. Л. Травление поверхности металлов в плазме аргона / В. Л. Капустин, А. Ф. Корж, Б. М. Широков // Фізична інженерія поверхні. - 2007. - Т. 5, № 1-2. - С. 84-86. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2007_5_1-2_12.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача