Наукова періодика України Фізична інженерія поверхні

Дудин С. В. 
Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда / С. В. Дудин // Фізична інженерія поверхні. - 2006. - Т. 4, № 3-4. - С. 169-173. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2006_4_3-4_5
  Повний текст PDF - 260.779 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Дудин С.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Дудин С. В. Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда / С. В. Дудин // Фізична інженерія поверхні. - 2006. - Т. 4, № 3-4. - С. 169-173. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2006_4_3-4_5.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського