Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения

Шулаев, В. М.; Андреев, А. А.; Руденко, В. П.


	Наукова періодика України		Фізична інженерія поверхні

Шулаев В. М.
Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения / В. М. Шулаев, А. А. Андреев, В. П. Руденко // Фізична інженерія поверхні. - 2006. - Т. 4, № 3-4. - С. 136-142. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2006_4_3-4_3

Повний текст PDF - 269.579 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Шулаев В.

Андреев А.

Руденко В.

Бібліографічний опис для цитування:

Шулаев В. М. Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения / В. М. Шулаев, А. А. Андреев, В. П. Руденко // Фізична інженерія поверхні. - 2006. - Т. 4, № 3-4. - С. 136-142. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2006_4_3-4_3.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача