Формирование пучка нейтральных атомов для сухого травления и исследование его характеристик

Возный, А. В.; Ям, Дж. Ю.; Кропотов, А. Ю.; Фареник, В. И.


	Наукова періодика України		Фізична інженерія поверхні

Возный А. В.
Формирование пучка нейтральных атомов для сухого травления и исследование его характеристик / А. В. Возный, Дж. Ю. Ям, А. Ю. Кропотов, В. И. Фареник // Фізична інженерія поверхні. - 2006. - Т. 4, № 1-2. - С. 97-103. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2006_4_1-2_14

Повний текст PDF - 724.743 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Возный А. В. Формирование пучка нейтральных атомов для сухого травления и исследование его характеристик / А. В. Возный, Дж. Ю. Ям, А. Ю. Кропотов, В. И. Фареник // Фізична інженерія поверхні. - 2006. - Т. 4, № 1-2. - С. 97-103. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2006_4_1-2_14.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача