Development of arc suppression technique for reactive magnetron sputtering

Dudin, S. V.; Farenik, V. I.; Dahov, A. N.; Walkowicz, J.


	Наукова періодика України		Фізична інженерія поверхні

Dudin S. V.
Development of arc suppression technique for reactive magnetron sputtering / S. V. Dudin, V. I. Farenik, A. N. Dahov, J. Walkowicz // Фізична інженерія поверхні. - 2005. - Т. 3, № 3-4. - С. 211-215. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2005_3_3-4_7

Повний текст PDF - 201.381 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Dudin S. V. Development of arc suppression technique for reactive magnetron sputtering / S. V. Dudin, V. I. Farenik, A. N. Dahov, J. Walkowicz // Фізична інженерія поверхні. - 2005. - Т. 3, № 3-4. - С. 211-215. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2005_3_3-4_7.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача