Наукова періодика України Фізична інженерія поверхні

Петухов В. В. 
Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок / В. В. Петухов, А. А. Гончаров, В. А. Коновалов, Д. Н. Терпий, В. А. Ступак // Фізична інженерія поверхні. - 2005. - Т. 3, № 3-4. - С. 241-244. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2005_3_3-4_14
  Повний текст PDF - 229.247 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Петухов В.
  • Гончаров А.
  • Коновалов В.
  • Терпий Д.
  • Ступак В.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Петухов В. В. Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок / В. В. Петухов, А. А. Гончаров, В. А. Коновалов, Д. Н. Терпий, В. А. Ступак // Фізична інженерія поверхні. - 2005. - Т. 3, № 3-4. - С. 241-244. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2005_3_3-4_14.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського