Наукова періодика України Фізико-хімічна механіка матеріалів

Дурягіна З. А. 
Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення / З. А. Дурягіна, В. Я. Підкова // Фізико-хімічна механіка матеріалів. - 2013. - Т. 49, № 3. - С. 74-79. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PHKhMM_2013_49_3_14
З використанням іонно-плазмової розрядної системи одержано діелектричні шари нітриду алюмінію, що мають нанорозмірну структуру. Товщина шарів коливається від 35 до 50 мкм у разі розміру зерен 60 - 400 нм. Шорсткість поверхні при цьому знаходиться в межах 12 - 20 мкм. Діелектричний шар складається з фази AlN структурного типу ZnO з періодом комірки a = 3,10 <$Eroman A back 45 up 35 symbol Р>, c = 4,998 <$Eroman A back 45 up 35 symbol Р>. Зерна фази текстуровані за напрямком [001].
  Повний текст PDF - 516.666 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Дурягіна З.
  • Підкова В.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Дурягіна З. А. Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення / З. А. Дурягіна, В. Я. Підкова // Фізико-хімічна механіка матеріалів. - 2013. - Т. 49, № 3. - С. 74-79. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PHKhMM_2013_49_3_14.
    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Дурягіна Зоя Антонівна (технічні науки)
  • Підкова Василь Ярославович (технічні науки)
    •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського