Представлены результаты серии экспериментальных исследований по выращиванию нитевидных нанокристаллов (ННК) кремния методом химического парового осаждения в открытой проточной системе по механизму пар - жидкость - кристалл (ПЖК). В результате выполненных ростовых экспериментов получены ННК кремния со средним диаметром 100 нм. На основе метода кинетического эксперимента выполнено моделирование аксиального и радиального роста ННК. Определены следующие кинетические параметры роста: эффективное перенасыщение в газовой фазе, кинетический коэффициент кристаллизации и критический диаметр. Показано, что кристаллы диаметром 50 - 70 нм растут по механизму ПЖК, в то время как кристаллы больших диаметров растут согласно двум механизмам - ПЖК и ПК, что обусловливает формирование более выраженных гетероструктур с кристаллическим ядром и внешней пористой оболочкой.

  Повний текст PDF - 532.736 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"