Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии

Ходаковский, Н. И.; Ларкин, С. Ю.; Галстян, Г. Г.


	Наукова періодика України		Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології

Ходаковский Н. И.
Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии / Н. И. Ходаковский, С. Ю. Ларкин, Г. Г. Галстян // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. - 2011. - Т. 9, Вип. 3. - С. 535-542. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Nano_2011_9_3_5

Исследованы зондовые методы построения наноэлектронных приборов и их диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии. Рассмотрены пути повышения информативности измерений распределений зарядов и потенциалов в процессе получения элементов наноструктур.

Повний текст PDF - 173.924 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Ходаковский Н.

Ларкин С.

Галстян Г.

Бібліографічний опис для цитування:

Ходаковский Н. И. Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии / Н. И. Ходаковский, С. Ю. Ларкин, Г. Г. Галстян // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. - 2011. - Т. 9, Вип. 3. - С. 535-542. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Nano_2011_9_3_5.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача