Микропористые нанокристаллические тонкие плёнки V–N–He. Способ получения, структура, свойства

Брык, В.; Василенко, Р.; Воеводин, В. Н.; Гончаров, А.; Григорова, Т.; Гугля, А.; Колобродов, В.; Литвиненко, М.; Марченко, И.; Мельникова, Е.

Изучены основные закономерности формирования тонких плёнок V - N - He, осаждаемых в условиях бомбардировки смешанными пучками высокоэнергетичных ионов азота и гелия. Были исследованы их структурно-фазовые, электрофизические и адсорбционные характеристики. Данные электронно-микроскопического анализа доказывают, что формирование структуры плёнок V - N - He происходит в условиях конкуренции нескольких проходящих одновременно процессов, которые приводят к формированию нанокристаллической структуры, содержащей микропоры размером от 5 нм до 5 мкм. Обсуждается роль ионной бомбардировки и адсорбции газа из остаточной атмосферы в формировании пористости. Сопоставление данных резерфордовского обратного рассеяния и профилометрии позволило определить величину пористости плёнок - 27 %. В диапазоне исследованных давлений водорода (до 0,35 МПа) было адсорбировано 7 вес. % H2. Показано, что количество адсорбированного водорода определяется микропористой структурой плёнок и составом газовой среды в них.


	Наукова періодика України		Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології