Досліджено процеси фазоутворення і структуру в плівці CoSb(1,82-2,51)(30 нм) на підкладці монокристалічного кремнію Si(001) з шаром оксиду SiO2(100 нм) за допомогою методів рентгенівської дифракції, растрової електронної мікроскопії, атомно-силової мікроскопії та резистометрії. Встановлено, що в плівкових композиціях CoSb(1,82-2,51)(30 нм)/SiO2(100 нм)/Si(001) після осадження та після відпалу формується двофазний стан - антимоніди CoSb2 з моноклінною кристалічною граткою та CoSb3 з кубічною кристалічною граткою типу скутерудиту. Після відпалів плівок в інтервалі 720 - 970 К відбувається збільшення зерен обох фаз, а вище 875 К з'являються несуцільності плівок.

  Повний текст PDF - 1.398 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"