Наукова періодика України Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics


Liubchenko O. I. 
Modeling of X-ray rocking curves for layers after two-stage ion-implantation / O. I. Liubchenko, V. P. Kladko, O. Yo. Gudymenko // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2017. - Vol. 20, № 3. - С. 355-361. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2017_20_3_15
In this work, we consider the approach for simulation of X-ray rocking curves inherent to InSb(111) crystals implanted with Be<^>+ ions with various energies and doses. The method is based on the semi-kinematical theory of X-ray diffraction in the case of Bragg geometry. A fitting procedure that relies on the Hooke - Jeeves direct search algorithm was developed to determine the depth profiles of strain and structural disorders in the ion-modified layers. The thickness and maximum value of strain of ion-modified InSb(lll) layers were determined. For implantation energies 66 and 80 keV, doses 25 and 50 <$Emu>C, the thickness of the strained layer is about 500 nm with the maximum value of strain close to 0,1 %. Additionally, an amorphous layer with significant thickness was found in the implantation region.
  Повний текст PDF - 278.249 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Liubchenko O.
  • Kladko V.
  • Gudymenko O.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Liubchenko O. I. Modeling of X-ray rocking curves for layers after two-stage ion-implantation / O. I. Liubchenko, V. P. Kladko, O. Yo. Gudymenko // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2017. - Vol. 20, № 3. - С. 355-361. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2017_20_3_15.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Любченко Олексій Ігорович (фізико-математичні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського