Наукова періодика України | Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics | ||
Khrypunov G. S. The influence of physical and technological magnetron sputtering modes on the structure and optical properties of CdS and CdTe films / G. S. Khrypunov, G. I. Kopach, M. M. Harchenko, A. І. Dobrozhan // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2017. - Vol. 20, № 2. - С. 262-267. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2017_20_2_23 To create technology for preparation of CdS and CdTe thin films by direct current magnetron sputtering, the influence of physical and technological condensation modes on the crystal structure and optical properties of these films were investigated. The laboratory method of DC magnetron sputtering with preheating of the target for the mentioned films on glass substrates was developed. We obtained the CdS layers with hexagonal structure 150 - 200 nm thick under conditions when the plasma discharge current density was 1,1 mA/cm<^>2 Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Khrypunov G. S. The influence of physical and technological magnetron sputtering modes on the structure and optical properties of CdS and CdTe films / G. S. Khrypunov, G. I. Kopach, M. M. Harchenko, A. І. Dobrozhan // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2017. - Vol. 20, № 2. - С. 262-267. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2017_20_2_23.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |