Бібліографічний опис для цитування:
Steblova O. V. Transformation of SiOx films into nanocomposite SiO2(Si) films under thermal and laser annealing / O. V. Steblova, A. A. Evtukh, O. L. Bratus', L. L. Fedorenko, M. V. Voitovych, O. S. Lytvyn, O. O. Gavrylyuk, O. Yu. Semchuk // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2014. - Vol. 17, № 3. - С. 295-300. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2014_17_3_17.Відділ інформаційно-комунікаційних технологій |
Пам`ятка користувача |
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |