Steblova O. V. 
Transformation of SiOx films into nanocomposite SiO2(Si) films under thermal and laser annealing / O. V. Steblova, A. A. Evtukh, O. L. Bratus', L. L. Fedorenko, M. V. Voitovych, O. S. Lytvyn, O. O. Gavrylyuk, O. Yu. Semchuk // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2014. - Vol. 17, № 3. - С. 295-300. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2014_17_3_17
  Повний текст PDF - 3.062 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Steblova O.
  • Evtukh A.
  • Bratus' O.
  • Fedorenko L.
  • Voitovych M.
  • Lytvyn O.
  • Gavrylyuk O.
  • Semchuk O.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Steblova O. V. Transformation of SiOx films into nanocomposite SiO2(Si) films under thermal and laser annealing / O. V. Steblova, A. A. Evtukh, O. L. Bratus', L. L. Fedorenko, M. V. Voitovych, O. S. Lytvyn, O. O. Gavrylyuk, O. Yu. Semchuk // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2014. - Vol. 17, № 3. - С. 295-300. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2014_17_3_17.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Федоренко Леонід Леонідович (фізико-математичні науки)
  • Войтович Марія Володимирівна (фізико-математичні науки)
  • Семчук Олександр Юрійович (1950–) (фізико-математичні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського