Наукова періодика України Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics

Belyaev A. E. 
Role of dislocations in formation of ohmic contacts to heavily doped n-Si / A. E. Belyaev, V. A. Pilipenko, V. M. Anischik, T. V. Petlitskaya, A. V. Sachenko, V. P. Klad'ko, R. V. Konakova, N. S. Boltovets, T. V. Korostinskaya, L. M. Kapitanchuk // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2013. - Vol. 16, № 2. - С. 99-110. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2013_16_2_3
We present experimental results concerning a high density of structural defects (in particular, dislocations) in the near-contact region of heavily doped n-silicon. They appear in the course of firing Au - Pd - Ti - Pd - <$En sup +> - Si ohmic contact at <$E450~symbol Р roman C> for 10 min in a vacuum of ~ 10<^>-4 Pa. These defects lead to appearance of metal shunts that determine the current flow mechanism in these ohmic contacts. The calculated and experimental temperature dependences of contact resistivity, <$Erho sub c (T)>, are in good agreement. It is shown that <$Erho sub c> increases with temperature. This is characteristic of a model of ohmic contacts with a high dislocation density in the near-contact region of semiconductor.
  Повний текст PDF - 4.777 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Belyaev A.
  • Pilipenko V.
  • Anischik V.
  • Petlitskaya T.
  • Sachenko A.
  • Klad'ko V.
  • Konakova R.
  • Boltovets N.
  • Korostinskaya T.
  • Kapitanchuk L.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Belyaev A. E. Role of dislocations in formation of ohmic contacts to heavily doped n-Si / A. E. Belyaev, V. A. Pilipenko, V. M. Anischik, T. V. Petlitskaya, A. V. Sachenko, V. P. Klad'ko, R. V. Konakova, N. S. Boltovets, T. V. Korostinskaya, L. M. Kapitanchuk // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2013. - Vol. 16, № 2. - С. 99-110. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2013_16_2_3.
    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Бєляєв Олександр Євгенович (1947–) (фізико-математичні науки)
  • Саченко Анатолій Васильович (фізико-математичні науки)
  • Конакова Раїса Василівна (1941–) (фізико-математичні науки)
  • Капітанчук Леонід Мусійович (фізико-математичні науки)
  • Капітанчук Леонiд Мусійович (технічні науки)
    •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського