Optimization of conditions for treatment of ZnSe crystal surfaces by chemical etching

Tomashyk, V. M.; Kravtsova, A. S.; Tomashyk, Z. F.; Stratiychuk, I. B.; Galkin, S. M.


	Наукова періодика України		Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics

Tomashyk V. M.
Optimization of conditions for treatment of ZnSe crystal surfaces by chemical etching / V. M. Tomashyk, A. S. Kravtsova, Z. F. Tomashyk, I. B. Stratiychuk, S. M. Galkin // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2013. - Vol. 16, № 2. - С. 140-145. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2013_16_2_10

The process of chemical polishing the undoped and doped ZnSe crystals surface with H2O2 - HBr etchants has been studied. The dependence of the samples polishing rate on the concentration of H2O2 in HBr solution has been investigated. Surface states after chemical etching have been established using electron and atomic force microscopies, and it was shown that the surface state is improved after chemical etching. Etchant selection to develop slow polishing compositions for chemical-mechanical polishing the investigated materials has been made. Concentration regions of polishing solutions have been found for various types of ZnSe surface treatment: to remove the damaged layer, to control the etching rate, to obtain samples of a given thickness.

Повний текст PDF - 305.074 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Tomashyk V. M. Optimization of conditions for treatment of ZnSe crystal surfaces by chemical etching / V. M. Tomashyk, A. S. Kravtsova, Z. F. Tomashyk, I. B. Stratiychuk, S. M. Galkin // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2013. - Vol. 16, № 2. - С. 140-145. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2013_16_2_10.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Томашик Василь Миколайович (хімічні науки)

Томашик Зінаїда Федорівна (хімічні науки)

Стратійчук Ірина Борисівна (хімічні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача