Double- and triple-crystal X-ray diffractometry of microdefects in silicon

Molodkin, V. B.; Olikhovskii, S. I.; Kyslovskyy, Ye. M.; Len, E. G.; Reshetnyk, O. V.; Vladimirova, T. P.; Lizunov, V. V.; Lizunova, S. V.


	Наукова періодика України		Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics

Molodkin V. B.
Double- and triple-crystal X-ray diffractometry of microdefects in silicon / V. B. Molodkin, S. I. Olikhovskii, Ye. M. Kyslovskyy, E. G. Len, O. V. Reshetnyk, T. P. Vladimirova, V. V. Lizunov, S. V. Lizunova // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2010. - Vol. 13, № 4. - С. 353-356. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2010_13_4_6

The generalized dynamical theory of X-ray scattering by real single crystals allows to self-consistently describe intensities of coherent and diffuse scattering measured by double- and triple-crystal diffractometers (DCD and TCD) from single crystals with defects in crystal bulk and with strained subsurface layers. Being based on this theory, we offer the combined DCD + TCD method that exhibits the higher sensitivity to defect structures with wide size distributions as compared with any of these methods alone. In the investigated Czochralski-grown silicon crystals, the sizes and concentrations of small oxygen precipitates as well as small and large dislocation loops have been determined using this method.

Повний текст PDF - 168.205 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Molodkin V. B. Double- and triple-crystal X-ray diffractometry of microdefects in silicon / V. B. Molodkin, S. I. Olikhovskii, Ye. M. Kyslovskyy, E. G. Len, O. V. Reshetnyk, T. P. Vladimirova, V. V. Lizunov, S. V. Lizunova // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2010. - Vol. 13, № 4. - С. 353-356. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2010_13_4_6.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Молодкін Вадим Борисович (1941–) (фізико-математичні науки)

Оліховський Степан Йосипович (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача