Наукова періодика України Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics

Boltovets M. S. 
Formation of ohmic contacts to n(p)-gan and measurement of their contact resistivity / M. S. Boltovets, V. M. Ivanov, R. V. Konakova, Ya. Ya. Kudryk, V. V. Milenin, V. V. Shynkarenko, V. M. Sheremet, Yu. N. Sveshnikov, B. S. Yavich // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2010. - Vol. 13, № 4. - С. 337-342. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2010_13_4_3
We propose multilayer ohmic contacts to n- and p-GaN layers, with titanium boride as diffusion barrier. It is shown that the optimal method of contact resistivity measurement is the transmission line method (TLM) with circular contact geometry. The Ti - Al - TiBx - Au contact metallization to n-GaN retains its layer structure after thermal annealing at temperatures up to 900 <$E symbol Р>C. The contact resistivity <$E rho sub c> is <$E ( 6,69~symbol С~1,67 )~times~10 sup -5~OMEGA~cdot~roman cm sup 2>. For the Au - TiBx - Ni - p-GaN contact structure, the contact resistivity is <$E (1~symbol С~0,15)~cdot~10 sup -3~OMEGA~cdot~roman cm sup 2>.
  Повний текст PDF - 261.658 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Boltovets M.
  • Ivanov V.
  • Konakova R.
  • Kudryk Y.
  • Milenin V.
  • Shynkarenko V.
  • Sheremet V.
  • Sveshnikov Y.
  • Yavich B.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Boltovets M. S. Formation of ohmic contacts to n(p)-gan and measurement of their contact resistivity / M. S. Boltovets, V. M. Ivanov, R. V. Konakova, Ya. Ya. Kudryk, V. V. Milenin, V. V. Shynkarenko, V. M. Sheremet, Yu. N. Sveshnikov, B. S. Yavich // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2010. - Vol. 13, № 4. - С. 337-342. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2010_13_4_3.
    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Конакова Раїса Василівна (1941–) (фізико-математичні науки)
    •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського