Исследованы физические закономерности и механизмы роста углеродных пленок и эрозии поверхности при облучении мишеней из кварца (SiO2) пучком ускоренных ионов С60 с энергией в интервале 2,5 - 10 кэВ при температуре мишени 373 К. Установлено, что рост углеродных пленок на поверхности облучаемых мишеней из SiО2 наблюдается в интервале энергий ионов 2,5 - 3,75 кэВ. При этом скорость осаждения углерода лимитируется процессом эрозии поверхности роста, интенсивность которого зависит от энергии ионов. При энергии ионов выше верхних значений указанных интервалов пленка на поверхности не формируется, и наблюдается эрозия материала мишени. Показана возможность удаления аморфного оксида с поверхности кремниевой подложки и формирование на ней эпитаксиального карбида кремния.

  Повний текст PDF - 877.981 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"