| Наукова періодика України |
| Металлофизика и новейшие технологии |
Rudenko E. M. Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor / E. M. Rudenko, I. V. Korotash, D. Y. Polotskiy, L. S. Osipov, M. V. Dyakin, T. A. Prikhna, A. P. Shapovalov // Металлофизика и новейшие технологии. - 2015. - Т. 37, № 4. - С. 499-508. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MPhNT_2015_37_4_8 Изучены особенности физических механизмов управляемого ионно-плазменного формирования новых функциональных наноматериалов. Отработаны технологические режимы формирования функциональных наноструктурированных материалов при совместной работе нескольких источников плазмы; изучены структурные и электрофизические особенности полученных пленок TiN. Структуры пленок исследованы на сканирующем туннельном микроскопе JSPM-4500/4610, сблокированном с атомным силовым микроскопом. Установлено, что оптимизированные геликонно-дуговой реактор демонстрирует уникальные свойства и обеспечивает управляемое низкотемпературное формирование плотных упорядоченных наноструктур TiN с размерами от единиц до десятков нанометров. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Rudenko E. M. Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor / E. M. Rudenko, I. V. Korotash, D. Y. Polotskiy, L. S. Osipov, M. V. Dyakin, T. A. Prikhna, A. P. Shapovalov // Металлофизика и новейшие технологии. - 2015. - Т. 37, № 4. - С. 499-508. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MPhNT_2015_37_4_8.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця" |
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |
|||||
