Наукова періодика України Металлофизика и новейшие технологии


Кирпенко К. В. 
Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса / К. В. Кирпенко, А. В. Недоля, И. Н. Титов // Металлофизика и новейшие технологии. - 2014. - Т. 36, № 6. - С. 735-743. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MPhNT_2014_36_6_5
В рамках математической модели, которая учитывает конвективный теплообмен с поверхностью образующегося осадка в условиях лазерного CVD-процесса, рассчитаны распределения температурного поля и определены условия формирования осадка на диэлектрической подложке при пиролитическом разложении тетракарбонила никеля и карбонилов других переходных металлов. С помощью метода конечных элементов рассчитаны профили осадков металлов, которые хорошо согласуются с экспериментальными данными. Определены параметры лазерного излучения, при которых реализуется пиролиз карбонилов и осаждение металлов на подложку, а также размерные параметры осадков переходных металлов.
  Повний текст PDF - 406.702 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Кирпенко К.
  • Недоля А.
  • Титов И.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Кирпенко К. В. Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса / К. В. Кирпенко, А. В. Недоля, И. Н. Титов // Металлофизика и новейшие технологии. - 2014. - Т. 36, № 6. - С. 735-743. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MPhNT_2014_36_6_5.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Недоля Анатолій Васильович (1963–) (фізико-математичні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського