Наукова періодика України | Металлофизика и новейшие технологии | ||
Кирпенко К. В. Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса / К. В. Кирпенко, А. В. Недоля, И. Н. Титов // Металлофизика и новейшие технологии. - 2014. - Т. 36, № 6. - С. 735-743. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MPhNT_2014_36_6_5 В рамках математической модели, которая учитывает конвективный теплообмен с поверхностью образующегося осадка в условиях лазерного CVD-процесса, рассчитаны распределения температурного поля и определены условия формирования осадка на диэлектрической подложке при пиролитическом разложении тетракарбонила никеля и карбонилов других переходных металлов. С помощью метода конечных элементов рассчитаны профили осадков металлов, которые хорошо согласуются с экспериментальными данными. Определены параметры лазерного излучения, при которых реализуется пиролиз карбонилов и осаждение металлов на подложку, а также размерные параметры осадков переходных металлов. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Кирпенко К. В. Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса / К. В. Кирпенко, А. В. Недоля, И. Н. Титов // Металлофизика и новейшие технологии. - 2014. - Т. 36, № 6. - С. 735-743. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MPhNT_2014_36_6_5.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |