Экспериментально измерены с помощью метода Битти и теоретически вычислены в рамках трехслойной модели тонкой пленки зависимости эллипсометрических параметров от угла падения света на пленку для 3-х тонких пленок молибдена при возбуждении поверхностных поляритонов. Измеряемыми эллипсометрическими параметрами были азимут восстановленной линейной поляризации и сдвиг фаз между р- и s-компонентами отраженного света. Теоретические расчеты проведены по рекуррентным формулам Эйри. Проведенные исследования показали, что экспериментальные и теоретические зависимости эллипсометрических параметров от угла падения имеют идентичный ход, но между ними есть количественные расхождения. Последнее объясняется тем, что в использованной теоретической трёхслойной модели тонкой пленки Mo границы между слоями считались идеально плоскими. В то же время реальные границы раздела - шероховатые и неоднородные. Полученные результаты показали, что средний слой пленки является металлическим молибденом, а верхний и нижний слои являются окислами молибдена.

  Повний текст PDF - 231.347 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"