Исследованы процессы взаимной диффузии в тонких поликристаллических пленках Au (30 нм)/Cu (40 нм) во время отжига при температурах 100 - 200 <$E symbol Р>C в течение 15 и 30 мин в вакууме при различных давлениях остаточной атмосферы 10<^>-2 и 10<^>-6 Па и в среде водорода при давлении <$E5~cdot~10 sup 2> Па. Использован метод масс-спектрометрии вторичных нейтральных частиц, дополненный трансмиссионной электронной микроскопией, рентгеновской дифракцией и атомно-силовой микроскопией. Перемешивание двух слоев наблюдалось при температурах, при которых объемная диффузия полностью исключается. Измеряемые для слоя Au профили Cu и их развитие с течением времени были типичными профилями зернограничной диффузии с кинетикой C-типа. Из-за гораздо более высокой зернограничной диффузионной подвижности в обогащенном слое Au насыщение границ зерен золота достигается за очень короткое время. Высокий уровень концентрации Cu в слое Au можно объяснить, предполагая наличие подвижных границ, которые оставляют позади себя области с высокой концентрацией Cu, близкой к стехиометрическому составу. Фазообразование происходит внутри и вокруг границ зерен посредством перемещения диффундирующего компонента вдоль движущихся границ зерен.

  Повний текст PDF - 1.024 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"