Наукова періодика України Металлофизика и новейшие технологии

Соболь О. В. 
Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий / О. В. Соболь, А. А. Андреев, С. Н. Григорьев, М. А. Волосова, В. А. Столбовой, В. Е. Фильчиков, Н. В. Киданова, Г. В. Антоненкова, Н. Ю. Черкасова // Металлофизика и новейшие технологии. - 2013. - Т. 35, № 7. - С. 943-951. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MPhNT_2013_35_7_9
Установлены закономерности влияния подаваемого на подложку во время осаждения отрицательного потенциала смещения с абсолютной величиной 5 - 230 В при двух рабочих давлениях азотной атмосферы <$E2~cdot~10 sup -3> и <$E5~cdot~10 sup -3> торр на изменения фазового состава, структуры, субструктурных характеристик и напряженно-деформированных состояний вакуумно-дуговых TiN-покрытий. Показаны возможности направленного изменения (рост кристаллитов с осью текстуры [111], повышение напряженно-деформированного состояния сжатия и увеличение среднего размера кристаллитов) при повышении абсолютного значения подаваемого отрицательного потенциала. Проанализированы причины наблюдаемых изменений с учетом влияния на их проявления рабочего давления азотной атмосферы в процессе осаждения.
  Повний текст PDF - 305.417 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Соболь О.
  • Андреев А.
  • Григорьев С.
  • Волосова М.
  • Столбовой В.
  • Фильчиков В.
  • Киданова Н.
  • Антоненкова Г.
  • Черкасова Н.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Соболь О. В. Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий / О. В. Соболь, А. А. Андреев, С. Н. Григорьев, М. А. Волосова, В. А. Столбовой, В. Е. Фильчиков, Н. В. Киданова, Г. В. Антоненкова, Н. Ю. Черкасова // Металлофизика и новейшие технологии. - 2013. - Т. 35, № 7. - С. 943-951. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MPhNT_2013_35_7_9.
    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Соболь Олег Валентинович (фізико-математичні науки)
    •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського