Влияние параметров осаждения на физико-химические, механические и триботехнические свойства и структуру нитридных и карбонитридных покрытий

Жоллыбеков, Б. Р.; Махмуд, А. М.; Кирик, Г. В.; Демьяненко, А. А.; Колесников, Д. А.; Комаров, Ф. Ф.; Шипиленко, А. П.; Ердыбаева, Н. К.

С помощью растровой электронной микроскопии, рентгеноструктурного анализа, измерения адгезионной прочности, коэффициента трения и скорости износа материала изучены свойства покрытий нержавеющая сталь - TiN (нс - TiN). В зависимости от потенциала сдвига, подающегося на подкладку, давления в камере и включения ВЧ-разряда показано, что совокупность разных параметров, регистрируемых в процессе царапания, позволяет различать пороговые значения критической нагрузки, связанные с разными типами когезионного и адгезионного разрушения покрытий при трибологических испытаниях. Были определены размеры нанозерен нс - TiN, стехиометрия покрытий, фазовый и элементный составы, морфология поверхности покрытий на основе Ti(C, N) и (Ti, Al)N. Твердые покрытия TiN, Ti(C, N) и (Ti, Al)N осаждали на подложку из нержавеющей стали методом катодно-дугового испарения. Химический и фазовый составы поверхности и текстуру покрытий определили методом упругих столкновений (ERDA) с помощью энергодисперсионного рентгеновского анализа, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и рентгеновской дифракции. Исследовали влияние на характеристики пленки основных параметров нанесения, а именно, давления реактивного газа, тока дуги и потенциала смещения подложки. Морфология поверхности изучена с помощью атомно-силовой и сканирующей электронной микроскопии. Для определения модуля упругости и нанотвердости использован наноиндентор.


	Наукова періодика України		Металлофизика и новейшие технологии