С помощью методов Оже-электронной спектроскопии, рентгеновского локального микроанализа, резерфордовского обратного рассеяния, рентгенофазового анализа, растровой электронной микроскопии исследованы начальные стадии низкотемпературной диффузии в наноразмерных тонкопленочных системах Cu(180 нм)/Mn(60 нм)/SiO2 и Sn(60 нм)/Cu(180 нм)/Mn(60 нм)/SiO2. Показано, что марганец диффундирует по границам зерен "верхних" слоев, и реакция его окисления на внешней поверхности создает дополнительную движущую силу массопереноса. Концентрация Mn на поверхности трехслойной системы после отжига в вакууме 10<^>-6 Па при температуре <$E200~symbol Р roman C> в течение 20 минут больше, чем при аналогичных условиях отжига двухслойной системы, что связано с развитием фазовых превращений. Предложена теоретическая модель, которая позволяет прогнозировать кинетику роста оксида Mn3O4 на поверхности системы Cu/Mn, выполнены количественные расчеты. Показано, что наибольшая скорость роста оксида наблюдается в области стыка границы зерна с поверхностью пленочной системы.

  Повний текст PDF - 586.249 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"