З використанням методів атомової силової мікроскопії та трансмісійної електронної мікроскопії, залежно від типу вихідної структури та фізико-хімічного впливу під час зростання, в легованих фосфором полікристалічних кремнієвих плівках досліджено характеристики меж зерен, проаналізовано механізми формування як потрійних стиків меж, так і множинних, що відрізняються кількістю та взаємним розташуванням спеціальних меж <$ESIGMA 3 sup n> і меж загального типу. Результати аналізу схильності стиків меж зерен різних типів до рухливості і взаємодії з ними домішкових кластерів є підставою для розробки принципів керування структурою, її морфологічними особливостями, комплексом фізичних та механічних властивостей плівкових матеріалів.

  Повний текст PDF - 2.145 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"