Іванчук О. М.
Дослідження геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ JSM-7100F (JEOL, Японія) та точність їхньої апроксимації / О. М. Іванчук // Геодезія, картографія і аерофотознімання. - 2015. - Вип. 81. - С. 112-120. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Geodez_2015_81_13
Наведено результати досліджень геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, одержаних на РЕМ-106І в діапазоні збільшень від M = 1000<^>x до M = 25 000<^>x. Після врахування порівняно незначних лінійних (масштабних) спотворень (<$E DELTA M~=~symbol С~3> %) залишкові нелінійні спотворення геометрії залишаються ще суттєвими - до <$E symbol С~1,5> мм (<$E symbol С~15> пікселів) для зображень розміром <$E 120~times~90> мм. За допомогою методу поліноміальної апроксимації геометричні спотворення враховують, після чого їх залишкові величини не перевищують <$E symbol С~0,3> мм (<$E symbol С~3> піксели). Це надає змогу одержувати просторові кількісні параметри мікроповерхонь дослідних об'єктів з високою точністю, зокрема, у разі збільшення (масштабу) зображень M = 1000<^>x: mx = my = 0,1 - 0,2 мкм, mh(Z) = 1 - 1,5 мкм, а за M = 25 000<^>x - mx = my = 0,005 - 0,01 мкм, mh(Z) = 0,1 - 0,2 мкм.Цифровим РЕМ-зображенням внаслідок різноманітних фізичних факторів роботи растрових електронних мікроскопів притаманні значні геометричні спотворення. Мета дослідження - встановлення та ефективне врахування геометричних спотворень для підвищення точності одержання просторових кількісних параметрів мікроповерхонь об'єктів, які досліджуються за допомогою РЕМ. Завдання це є вкрай важливим, особливо тепер, зокрема, за потреби контролю технологічних процесів виробництва на мікронному та субмікронному рівнях у машинобудуванні, мікроелектроніці та багатьох інших. Це, своєю чергою, надає змогу одержувати необхідні технологічні властивості різноманітних об'єктів, а отже, підвищувати їх надійність та ефективність. Для встановлення та дослідження цифрових РЕМ-зображень, одернжаних на РЕМ JSM 7100F використано спеціальний тест-об'єкт (голографічна тест-решітка) з роздільною здатністю r = 1425 лін/мм. Цифрові РЕМ-зображення одержано на діапазоні збільшень від 2000<^>x до 40 000<^>x. Опрацювання (вимірювання) цифрових РЕМ-знімків виконано за допомогою спеціальних підпрограм "Test-Measuring" і "Polycalc" програмного комплексу "Dimicros". Одержані лінійні (масштабні) і нелінійні (дисторсійні) складові геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, зокрема, дійсні значення збільшень РЕМ-зображень тест-об'єктів показали, що їх відхилення від встановлених значень за шкалою РЕМ становлять: уздовж осі x знімка - від приблизно -1 % (за M<^>x від 2000<^>x до 5000<^>x) до +2,5 - 4 % (за M<^>x від 7500<^>x до 40 000<^>x), а вздовж осі у знімка - від 0 - +1 % (за M<^>x від 2000<^>x до 5000<^>x) до +3 - 4 % (за M<^>x від 7500<^>x до 40 000<^>x). Точність вимірів M<^>x
Цитованість авторів публікації:Іванчук О.
Бібліографічний опис для цитування: Іванчук О. М. Дослідження геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ JSM-7100F (JEOL, Японія) та точність їхньої апроксимації / О. М. Іванчук // Геодезія, картографія і аерофотознімання. - 2015. - Вип. 81. - С. 112-120. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Geodez_2015_81_13.
 Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
