Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер "Mozilla Firefox" |
|
|
Повнотекстовий пошук
Пошуковий запит: (<.>A=Малеев М$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 3
Представлено документи з 1 до 3
|
1. |
Малеев М. В. Физические механизмы распыления мишеней из SiO2 ускоренными ионами фуллерена C60 [Електронний ресурс] / М. В. Малеев, Е. Н. Зубарев, В. Е. Пуха, А. Н. Дроздов, А. С. Вус // Металлофизика и новейшие технологии. - 2015. - Т. 37, № 6. - С. 775-788. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MPhNT_2015_37_6_8 Исследованы физические закономерности и механизмы роста углеродных пленок и эрозии поверхности при облучении мишеней из кварца (SiO2) пучком ускоренных ионов С60 с энергией в интервале 2,5 - 10 кэВ при температуре мишени 373 К. Установлено, что рост углеродных пленок на поверхности облучаемых мишеней из SiО2 наблюдается в интервале энергий ионов 2,5 - 3,75 кэВ. При этом скорость осаждения углерода лимитируется процессом эрозии поверхности роста, интенсивность которого зависит от энергии ионов. При энергии ионов выше верхних значений указанных интервалов пленка на поверхности не формируется, и наблюдается эрозия материала мишени. Показана возможность удаления аморфного оксида с поверхности кремниевой подложки и формирование на ней эпитаксиального карбида кремния.
| 2. |
Малеев М. В. Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C60 [Електронний ресурс] / М. В. Малеев, Е. Н. Зубарев, В. Е. Пуха, А. Н. Дроздов, А. С. Вус, А. Ю. Девизенко // Фізична інженерія поверхні. - 2015. - Т. 13, № 1. - С. 91-104. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2015_13_1_15
| 3. |
Малеев М. В. Особенности взаимодействия ускоренных инов С60 с поверхностью ITO мишени [Електронний ресурс] / М. В. Малеев, Е. Н. Зубарев, В. Е. Пуха, А. Н. Дроздов, А. С. Вус, А. В. Пеньков // Фізична інженерія поверхні. - 2015. - Т. 13, № 2. - С. 184-195. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2015_13_2_10
|
|
|