Простийпошук |
Розширенийпошук |
Покажчики
|
Професійний пошук |
Рубрикатор НБУВ |
Розподілений пошук |
Бази даних
Наукова періодика України - результати пошуку
Книжкові видання та компакт-дискиЖурнали та продовжувані виданняАвтореферати дисертаційРеферативна база данихНаукова періодика УкраїниТематичний навігаторАвторитетний файл імен осіб
 |
Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер "Mozilla Firefox" |
|
|
Повнотекстовий пошук
| Знайдено в інших БД: | Реферативна база даних (1) |
Список видань за алфавітом назв: Авторський покажчик Покажчик назв публікацій  |
Пошуковий запит: (<.>AT=Новосядлий Фізико-технологічні аспекти багатозарядної імплантації$<.>) | |||
|
Загальна кількість знайдених документів : 1 |
|||
| 1. | 
Новосядлий С. П. Фізико-технологічні аспекти багатозарядної імплантації арсенід галію в структурах приладів і схем [Електронний ресурс] / С. П. Новосядлий, Л. В. Мельник, Т. П. Кіндрат // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2013. - № 5(5). - С. 29-36. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2013_5(5)__8 Проведено систематизацію даних про основні закономірності процесів іонного легування арсеніду галію. Проаналізовано вплив технологічних факторів на параметри імплантованих шарів, використання методів іонної імплантації в тому числі високоенергетичної багатозарядної у процесі формування приладних структур швидкісних великих інтегральних схем на арсеніді галію. | ||
Попередній перегляд: 
Реферативна БД
 |
| Відділ наукової організації електронних інформаційних ресурсів |
 Пам`ятка користувача |