Повнотекстовий пошук
Пошуковий запит: (<.>AT=Новосядлий Вплив арсенідгелієвої технології на$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
1. |
Новосядлий С. П. Вплив арсенідгелієвої технології на формування структур інтегральних схем [Електронний ресурс] / С. П. Новосядлий, Л. В. Мельник // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2014. - № 3(5). - С. 25-32. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2014_3(5)__6 Мета роботи - визначення взаємозв'язку межі розділу на вибір технології формування швидкодіючих структур ВІС на основі арсеніду галію та високоефективних приладних структур. Технологія формування структур таких приладів повинна забезпечувати необхідну стабільність структури міжфазної межі та можливість одержання високоякісних шарів на великій площі підкладок (діаметром >> 100 мм).
|
|
|