Простийпошук |
Розширенийпошук |
Покажчики
|
Професійний пошук |
Рубрикатор НБУВ |
Розподілений пошук |
Бази даних
Наукова періодика України - результати пошуку
Книжкові видання та компакт-дискиЖурнали та продовжувані виданняАвтореферати дисертаційРеферативна база данихНаукова періодика УкраїниТематичний навігаторАвторитетний файл імен осіб
 |
Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер "Mozilla Firefox" |
|
|
Повнотекстовий пошук
| Знайдено в інших БД: | Реферативна база даних (1) |
Список видань за алфавітом назв: Авторський покажчик Покажчик назв публікацій  |
Пошуковий запит: (<.>AT=Дружинін Напівпровідниковий інтегральний елемент на$<.>) | |||
|
Загальна кількість знайдених документів : 1 |
|||
| 1. | 
Дружинін А. О. Напівпровідниковий інтегральний елемент на основі наноструктур кремнію для інформаційних систем [Електронний ресурс] / А. О. Дружинін, І. Т. Когут, О. Ю. Ховерко, В. І. Голота, Ю. М. Ховерко // Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. - 2015. - Т. 12, № 1. - С. 100-107. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/seimt_2015_12_1_13 Розглянуто чутливий елемент акселерометра, виконаний з використанням суміщеної технології створення структур кремній-на-ізоляторі та ниткоподібних нанокристалів кремнію. На його основі розроблено малоінерційний, швидкодіючий, високочутливий до прискорення і переміщень пристрій із субмікрометровими і нанометровими топологічними розмірами. Це надало змогу реалізувати як дискретний прилад, так і елемент зінтегрованих наноелектромеханічних систем зі структурою кремній-на-ізоляторі, який забезпечує контроль переміщення з точністю 200 нм. | ||
Попередній перегляд: 
Реферативна БД
 |
| Відділ наукової організації електронних інформаційних ресурсів |
 Пам`ятка користувача |