Бази даних


Наукова періодика України - результати пошуку


Mozilla Firefox Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер
"Mozilla Firefox"

Вид пошуку
Повнотекстовий пошук
 Знайдено в інших БД:Реферативна база даних (1)
Список видань за алфавітом назв:
A  B  C  D  E  F  G  H  I  J  L  M  N  O  P  R  S  T  U  V  W  
А  Б  В  Г  Ґ  Д  Е  Є  Ж  З  И  І  К  Л  М  Н  О  П  Р  С  Т  У  Ф  Х  Ц  Ч  Ш  Щ  Э  Ю  Я  

Авторський покажчик    Покажчик назв публікацій



Пошуковий запит: (<.>AT=Sabov Oxygen ion-beam modification of$<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1
1.

Sabov T. M. 
Oxygen ion-beam modification of vanadium oxide films for reaching a high value of the resistance temperature coefficient [Електронний ресурс] / T. M. Sabov, O. S. Oberemok, O. V. Dubikovskyi, V. P. Melnik, V. P. Kladko, B. M. Romanyuk, V. G. Popov, O. Yo. Gudymenko, N. V. Safriuk // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2017. - Vol. 20, № 2. - С. 153-158. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2017_20_2_3
A new method to prepare vanadium oxide with a high temperature coefficient of resistance (TCR) and low resistance for uncooled micro-bolometers has been proposed. Amorphous vanadium oxide films with V2O3 phase inclusions have been fabricated on silicon and silica substrates at the temperature <$E200~symbol Р roman C> by using the direct current reactive magnetron sputtering method in controlled Ar/O2 atmosphere. Additional oxygen ion implantation in the deposited films allows to synthesize vanadium oxide with crystalline inclusions of VO2 and V2O5 phases under the low temperature annealing. The following long low-temperature annealing provides formation of VOx (at <$Ex~symbol О~2>) film with the TCR close to <$E7,0~% "/" ~symbol Р roman C>.
Попередній перегляд:   Завантажити - 379.631 Kb    Зміст випуску    Реферативна БД     Цитування
 
Відділ наукової організації електронних інформаційних ресурсів
Пам`ятка користувача

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського