Простий
пошук
Розширений
пошук
Покажчики
Професійний
пошук
Рубрикатор
НБУВ
Розподілений
пошук

Бази даних

Наукова періодика України - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Mozilla Firefox Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер
"Mozilla Firefox"
Вид пошуку
Повнотекстовий пошук
 Знайдено в інших БД:Реферативна база даних (1)
Список видань за алфавітом назв:
A  B  C  D  E  F  G  H  I  J  L  M  N  O  P  R  S  T  U  V  W  
А  Б  В  Г  Ґ  Д  Е  Є  Ж  З  И  І  К  Л  М  Н  О  П  Р  С  Т  У  Ф  Х  Ц  Ч  Ш  Щ  Э  Ю  Я  

Авторський покажчик    Покажчик назв публікацій


Пошуковий запит: (<.>AT=Onoprienko Deposition and characterization of$<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1
1.

Onoprienko A. A. 
Deposition and characterization of thin Si–B–C–N films by dc reactive magnetron sputtering of composed Si/B4C target [Електронний ресурс] / A. A. Onoprienko, V. I. Ivashchenko, A. O. Kozak, A. K. Sinelnichenko, T. V. Tomila // Надтверді матеріали. - 2019. - № 2. - С. 29-38. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sm_2019_2_5
Досліджено вплив складу газової суміші на структуру, хімічні зв'язки та твердість Si - B - C - N-плівок, одержаних методом реакційного на постійному струмі магнетронного розпилення мішені, складеної з кремнієвого диску та пластинок B4C, розміщених в зоні розпилення мішені. Плівки осаджували при 30 - 70 % азоту в Ar/N2 газовій суміші в камері та відпалювали в вакуумі при температурах до 1200 <$E symbol Р>C. Плівки досліджували методами рентгенівської дифракції, рентгенівської фотоелектронної спектроскопії, Фур'є ІЧ-спектроскопії, індентування. Усі осаджені плівки мали аморфну структуру, яка зберігалась при відпалі до 1200 <$E symbol Р>C. Додавання азоту в газову суміш в камері до 60 % привело до підвищення твердості плівок від 13,4 до 17,8 ГПа. Причиною цього є формування "міцних" Si - N, C - N and C = N-зв'язків, а також стискаючих напружень, які виникають при осадженні плівок. При подальшому збільшенні частки азоту в газовій суміші в камері твердість плівок знижувалась. Це явище пов'язане з формування в плівках слабких B - N-зв'язків, а також C - C та C = C-зв'язків, характерних для графітоподібної h-BN і графітової фаз відповідно.
Попередній перегляд:   Завантажити - 814.872 Kb    Зміст випуску    Реферативна БД     Цитування
 
Відділ наукової організації електронних інформаційних ресурсів
Пам`ятка користувача

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського