Повнотекстовий пошук
Пошуковий запит: (<.>AT=Филатов Полирование элементов оптико-электронной техники$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
1. |
Филатов Ю. Д. Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния [Електронний ресурс] / Ю. Д. Филатов, А. Г. Ветров, В. И. Сидорко, А. Ю. Филатов, С. В. Ковалев, В. Д. Курилович, М. А. Данильченко, Т. А. Прихна, А. И. Боримский, А. М. Куцай, В. Г. Полторацкий // Сверхтвердые материалы. - 2015. - № 1. - С. 63-74. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sm_2015_1_9 Обоснована целесообразность применения полировальных суспензий из алмазных микропорошков, порошков нитрида бора и МАХ-фазы Ті3АlС2 при исследовании закономерностей полирования монокристаллического карбида кремния и использовании в качестве критериев эффективности процесса обработки приведенной величины энергии переноса, плотности энергии переноса и плотности колебательной энергии, затрачиваемой на образование частиц шлама. В результате компьютерного моделирования микро- и нанопрофиля обработанной поверхности построены профилограммы, по которым определены значения параметров шероховатости и характерные соотношения, связывающие их с наиболее вероятным размером частиц шлама.
|
|
|