Повнотекстовий пошук
Пошуковий запит: (<.>AT=Сминтина Роль пластичної деформації у$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
1. |
Сминтина В. А. Роль пластичної деформації у формуванні наноструктурованого кремнію. Фотолюмінісцентні властивості наноструктурованого кремнію [Електронний ресурс] / В. А. Сминтина, О. А. Кулініч, М. А. Глауберман, О. В. Свірідова, І. О. Марчук, І. Р. Яцунський // Фізика і хімія твердого тіла. - 2011. - Т. 12, № 1. - С. 101-104. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2011_12_1_17 Показано роль пластичної деформації в процесі одержання шарів наноструктурованого кремнію (НСК). Процес одержання НСК полягає в тому, що на поверхні кремнієвої пластини вирощуються шари окислу кремнію різної товщини з подальшим їх видаленням та обробкою в хімічних травниках до появи бездефектного острівкового кремнію, що має фотолюмінесцентні властивості, притаманні нанокремнію. Наведено спектри інтенсивності фотолюмінесценції нанокремнію для різної товщини вирощеного оксиду кремнію. Розглянуто різні механізми зсуву максимуму інтенсивності спектра фотолюмінесценції в короткохвильову область спектра.
|
|
|