Повнотекстовий пошук
Пошуковий запит: (<.>AT=Реков Оптимизация процесса выращивания кремниевых$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
1. |
Реков Ю. В. Оптимизация процесса выращивания кремниевых основ для производства поликристаллического кремния [Електронний ресурс] / Ю. В. Реков, И. Ф. Червоный, С. Г. Егоров, О. А. Кисарин, Р. Н. Воляр // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2011. - № 3(5). - С. 15-20. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2011_3(5)__4 Рассмотрено влияние условий выращивания кремниевых основ на образование на их поверхности эпитаксиального слоя. Исключение образования на поверхности кремниевых основ эпитаксиальной пленки предложено путем проведения процесса плавки в газовой среде при давлении выше атмосферного.
|
|
|