Повнотекстовий пошук
Пошуковий запит: (<.>AT=Попович Вплив тиску аргону в$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
1. |
Попович В. І. Вплив тиску аргону в камері осадження на властивості легованих алюмінієм плівок ZnO, вирощених методом пошарового осадження при магнетронному розпиленні [Електронний ресурс] / В. І. Попович, А. І. Євтушенко, О. С. Литвин, В. Р. Романюк, В. М. Ткач, В. А. Батурин, О. Є. Карпенко, М. В. Дранчук, Л. О. Клочков, М. Г. Душейко, В. А. Карпина, Г. В. Лашкарьов // Український фізичний журнал. - 2016. - Т. 61, № 4. - С. 334-339. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UPhJ_2016_61_4_7 Плівки ZnO:Al осаджено на кремнієві та скляні підкладки за допомогою методу пошарового осадження в високочастотному магнетронному розпиленні за зміни тиску аргону в камері осадження від 0,5 до 2 Па. Досліджено вплив тиску аргону в камері осадження на структуру, оптичні та електричні властивості плівок ZnO:Al. Встановлено, що збільшення тиску аргону призводить до зниження рухливості електронів у прозорих провідних плівках ZnO:Al та погіршення їх провідних властивостей за рахунок розсіяння на межах зерен. Показано, що збільшення поглинання вільними носіями зі збільшенням тиску аргону призводить до зниження прозорості плівок ZnO:Al у видимій області спектра випромінювання.
|
|
|