Повнотекстовий пошук
Пошуковий запит: (<.>AT=Павлович Химико-механическое полирование кристаллов твердых$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
1. |
Павлович И. И. Химико-механическое полирование кристаллов твердых растворов на основе теллуридов висмута и сурьмы бромвыделяющими композициями [Електронний ресурс] / И. И. Павлович, В. Н. Томашик, З. Ф. Томашик, И. Б. Стратийчук, А. И. Копыл // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 2011. - Вып. 46. - С. 68-73. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/ont_2011_46_10 Исследован процесс химико-механического полирования (ХМП) поверхности полупроводниковых кристаллов Bi2Te3 и твердых растворов n-(Bi2Te3)0,9(Sb2Te3)0,05(Sb2Se3)0,05 и p-(Bi2Te3)0,25(Sb2Te3)0,72(Sb2Se3)0,03 бромвыделяющими травителями. Изучены зависимости скоростей ХМП от разбавления базового полирующего травителя органическими компонентами, а также состояние поверхности после полирования. Оптимизированы составы полирующих смесей и режимы проведения операций для формирования высококачественной полированной поверхности.
|
|
|