Описано дослідження впливу режимів ВЧ-магнетронного розпилення на морфологію та фізико-механічні властивості плівок боридів ванадію, одержаних на різних підкладках.

In the given article the research of influencing of modes of a HF-magnetron sputtering on morphology and physics-mechanical properties of films of borides of vanadium obtained on different substrates is described

Наведено результати досліджень плівок деяких боридів, нітридів і силіцидів, одержаних за допомогою різних методів іонного осадження. Показано, що фазоутворення та структура плівок хімічних сполук визначаються головним чином швидкістю осадження атомів на підкладку.

Описано процеси фазоутворення плівок боридів перехідних металів п'ятої групи - ванадію і танталу.

Індекс рубрикатора НБУВ: К66-141

Рубрики:

Корозія металів. Захист металів від корозії

Шифр НБУВ: Ж29109 Пошук видання у каталогах НБУВ 

  Скачати повний текст

Із використанням методу нереактивного ВЧ-магнетронного розпилення за різних умов осадження одержано плівки дибориду танталу. За допомогою рентгенівської дифрактометрії, вторинної іонної масспектрометрії та електронної мікроскопії досліджено фазовий склад і структуру плівок. Вивчено вплив температури підкладки та величини позитивного потенціалу зсуву на зміну ступеня текстурованості та складу покриттів. Установлено деякі загальні закономірності росту плівок: утворення квазіаморфної структури та її перехід у текстурований конденсат різного ступеня досконалості.