Розглянуто питання моделювання газофазної операції "дифузія" в проточному реакторі в процесі виробництва інтегральних схем. Розроблена математична модель дозволяє отримати характеристики газового потоку в реакторі і оцінити їх вплив на величини розкиду поверхневої концентрації домішки по поверхні пластини та групи пластин.

Запропоновано математичну модель іонної імплантації, яка базується на методі Монте-Карло, що дозволяє підвищувати точність моделювання з урахуванням основних законів взаємодії іона з атомами багатокомпонентної мішені.

Дисертацію присвячено питанням моделювання газофазних операцій за умов виробництва інтегральних схем (ІС) на прикладі операцій "дифузія" у проточному реакторі. Розроблено алгоритм моделювання газодинамічних, тепло- та масообмінних процесів, який дозволяє провести обчислення від розрахунку параметрів газового потоку до отримання значень контрольованих вихідних параметрів газофазної операції "дифузія". Запропоновано модель з метою розрахунку поверхневого опору, яка на відміну від існуючих моделей, дозволяє врахувати вплив складу і товщини осадженої плівки домішково-селікатного скла та парціального тиску кисню у газовій суміші на поверхневу концентрацію легуючої домішки. За допомогою числових методів скінченних різниць та об'ємів розв'язано систему рівнянь Нав'є - Стокса, що дало змогу отримати характеристики газового потоку у проточному реакторі та оцінити їх вплив на величину розкиду концентрації домішки на поверхні пластин та довжині зони постійної температури.