Ключ. слова: високотемпературні надпровідники, абляція, плазма, лазерній промінь, енергетичні спектри пружного розсіяння, мікроскопія атомних сіл, растрова електронна мікроскопія
Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619

Рубрики:

Одержання плівок

Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Ключ. слова: oxide thin film, pulsed laser deposition, oxygen pressure
Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619

Рубрики:

Одержання плівок

Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Ключ. слова: высокотемпературная сверхпроводимость, наноструктурированные пленки, микрополосковый резонатор
Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619 + З843.395-06

Рубрики:

Одержання плівок

Тонкі плівки

Шифр НБУВ: Ж14479 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Розглянуто основи одержання металевих, алмазоподібних і споріднених з ними плівок, їх особливості та фізичні властивості. Наведено технології вимірювання товщини тонких плівок (ТП), осадження алмазоподібних матеріалів на основі карбону. Визначено відношення між умовами одержання ТП і їх особливостями. Описано механізми конденсації та росту ТП. Охарактеризовано датчики неелектричних величин, температури, тиску та вологості, газові датчики, тензодатчики та датчики магнітних характеристик на основі масивних і плівкових матеріалів.

Рассмотрены основы получения металлических, алмазоподобных и родственных с ними пленок, их особенности и физические свойства. Приведены технологии измерения тонких пленок (ТП), получения осадка алмазоподобных материалов на основе карбона. Определены взаимоотношения между условиями получения ТП и их особенностями. Описаны механизмы конденсации и роста ТП. Охарактеризованы датчики неэлектрических величин, температуры, давления и влажности, газовые датчики, тензодатчики и датчики магнитных характеристик на основе массивных и пленочных материалов.

Описано лабораторний лазерний технологічний процес синтезу нітридних тонких шарів GaN, GaN:Zn, GaN:Mn, GaN:Cr і вивчено їх основні структурні, електрофізичні та катодолюмінесцентні характеристики. Досліджено спектральні та кінетичні характеристики паро-плазмового факела в проміжку мішень-підкладка у процесі лазерного випаровування в нітридному середовищі. Вивчено характер швидкості переносу та ступеня іонізації плазми від технологічних параметрів (тиску азоту в камері, відстані від мішені, магнітного поля в зоні мішені). Встановлено закономірності взаємозв'язку між термодинамічними характеристиками процесу конденсації (тиском азоту, температурою підкладки), енергетично-часовими режимами та геометрією лазерного напилення, з одного боку, та структурою, електрофізичними і катодолюмінесцентними властивостями одержаних тонких нітридних шарів, з другого боку. Вивчено основні закономірності імпульсної лазерної кристалізації, характер зміни яскравості катодолюмінесценції та спектра випромінювання залежно від густини енергії лазерного відпалу.

Індекс рубрикатора НБУВ: В372.6 + Ж619

Рубрики:

Тонкі шари твердих тіл

Одержання плівок

Шифр НБУВ: Ж14159 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Розглянуто способи синтезу та регулювання властивостей золь-гель систем. Як модифікувальну домішку обрано полііонени. Зазначено, що це перші дослідження в галузі використання полііоненів для модифікації властивостей лугосилікатних золь-гель систем. На підставі проведених дослідженнь встановлено, що введення полііоненів суттєво впливає на процеси коагуляції та гелеутворення в золь-гель системах на основі алкоксисполук та лужних силікатів з наукової та з прикладної точок зору.

Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619-1

Рубрики:

Одержання плівок

Шифр НБУВ: Ж14159 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619 + В379.226

Рубрики:

Одержання плівок

Тонкі шари напівпровідників

Шифр НБУВ: Ж21854 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Ключ. слова: синтез, нанокристалічні плівки, оксид цинку, діаграма плавкості, піроліз аерозолей
Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619

Рубрики:

Одержання плівок

Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Проведено тривимірне моделювання кристалізації мікрообластей розплаву з урахуванням взаємодії атомів з підкладкою, спонтанного утворення кристалічних кластерів із граткою алмазу (параметри кремнію) чи простою кубічною граткою. Для кубічної гратки враховано взаємодію атомів із сусідніми атомами з першої, другої та третьої координаційних сфер. Обговорено деякі характеристики епітаксіальних плівок, одержаних внаслідок розрахунків.

Розроблено нові схеми лазерно-фотоіонізаційної технології контролю й очищення напівпровідникових речовин і виготовлення плівок особливо чистого складу на атомному рівні. Представлено нову принципіальну схему відповідних установок.

Ключ. слова: silicides, roughness, growth technique, AFM images
Індекс рубрикатора НБУВ: В379.226 + Ж619

Рубрики:

Тонкі шари напівпровідників

Одержання плівок

Шифр НБУВ: Ж72631 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619 + З843.312-06 + В379.271.5

Рубрики:

Одержання плівок

Кремній та його сполуки

Електричні явища при контакті напівпровідників з напівпровідниками, металами та діелектриками

Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Описано технологічні схеми високошвидкісного електронно-променевого випаровування неорганічних речовин у вакуумі та технологічні параметри, що контролюють осадження, структуру та властивості товстих конденсатів (плівок). Розглянуто приклади одно- та багатофазних металевих, металокерамічних, кераміко-металевих і керамічних конденсатів завтовшки від кількох мікрометрів до декількох міліметрів з дисперсною, багатошаровою, пористою та градієнтною структурами в широкому діапазоні розмірів структурних елементів. Відзначено розмірні ефекти в структурі та механічних властивостях товстих конденсатів. Висвітлено області практичного застосування неорганічних матеріалів, осаджених з парової фази у вакуумі.

Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619 + З843.312-01

Рубрики:

Одержання плівок

Кремній та його сполуки

Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Досліджено плівки силіцидів перехідних металів як перспективні матеріали, властивості яких задовольняють вимоги нанотехнологій, що розвиваються на даний час. Розглянуто області застосування плівок силіцидів перехідних металів, а також способи формування досконалих епітаксійних силіцидних плівок на монокристалічному кремнії.

Приведены результаты технологических разработок в области создания наукоемких технологий получения и практического применения ионно-плазменных вакуумных покрытий. Показано, что всестороннее изучение физики тонких пленок металлических и неметаллических материалов позволило разработать и применить комплекс различных ионно-плазменных способов распыления таких материалов и их комбинаций в едином вакуумном пространстве рабочей камеры. В новых технологиях используется дополнительное электрофизическое воздействие на процессы испарения и конденсации. Осуществлена модернизация существующего оборудования с использованием программных устройств и систем автоматического управления технологическим процессом нанесения покрытий. Значительно расширены возможности применения различных функциональных и защитно-декоративных покрытий, создан ряд производственных участков в Украине, Южной Корее, Македонии и Испании. Продемонстрирована практическая и экономическая эффективность данных покрытий. Определены пути их дальнейшего использования в Украине и за рубежом на контрактной основе.

Ключ. слова: плівки, сульфід свинцю, рухливість, механізми розсіювання
Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619 + В379.226

Рубрики:

Одержання плівок

Тонкі шари напівпровідників

Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Досліджено оптичні параметри вуглецевих покриттів на підкладках кремнію. Виявлено існування перехідної області між кремнієм та алмазоподібною плівкою. Створено програмне забезпечення для розв'язку оберненої задачі еліпсометрії.