Наведено результати досліджень плазмової кінетики у жевріючому розряді в багатокомпонентних сумішах різного складу. Здійснено числове моделювання кінетики розряду та випромінювання в ексимерних газорозрядних KrF і ArF лазерах, визначено оптимальний склад їх активних середовищ, оптимальний тиск сумішей. Досліджено залежності енергії випромінювання та коефіцієнт корисної дії від величини зарядної напруги, а також вплив буферного газу (гелію чи неону) на кінетику розряду та випромінювання. Завдяки моделюванню плазмової кінетики ексимерних лазерів і електричної схеми накачки істотно оптимізовано параметри останньої, що призвело до збільшення ефективності генерації лазерів у 1,5 - 2 рази. Уперше проведено числове моделювання кінетики розряду та випромінювання в активному середовищі ексимерного XeCl лазера, в якому токсичний галононосій HCl, що зазвичай використовується, замінено на фреон-12. Показано, що така заміна не призводить до зменшення ефективності генерації, що дозволило створити конкурентоспроможний XeCl лазер на основі малотоксичної хімічно інертної суміші.

  Скачати повний текст