Мета огляду - аналіз основних опублікованих результатів найбільш систематичних досліджень зміни структурно-фазового стану, фізико-хімічних властивостей систем металевих одно- та багатошарових тонких плівок після бомбардування низькоенергетичними (<< 10 еВ) іонами інертного газу. Нанорозмірні плівкові системи було одержано за допомогою двох фізичних методів: магнетронного осадження та терморезистивного випаровування. В основі одношарових систем лежать такі чисті метали, як Co, Cu, Ni, Pt, Nb, Ti, Fe, W. Нанесені на підкладинку Si(100) плівки мали товщину в діапазоні 25 - 700 нм. Багатошарові тонкі плівки виготовлено на основі таких комбінацій: Cu/Ni, Ni/Cu/Cr, Cr/Cu/Ni і Ni/Cu/V з товщиною кожного шару у 25 - 30 нм. Застосовували низькоенергетичне бомбардування іонами інертного газу (Xe<^>+, Ar<^>+, Ne<^>+, He<^>+) зі зміною енергії пучка в діапазоні 200 - 10 000 еВ і флюенсом у діапазоні 10<^>15 - 10<^>19 іонів/см<^>2. Морфологію, мікроструктуру та хімічну еволюцію полікристалічних тонких плівок, спричинену іонним бомбардуванням, досліджували за допомогою рентгенівської дифракції, вторинної іонної масспектрометрії, оже-електронної спектроскопії, електрографії, трансмісійної електронної мікроскопії, сканувальної електронної мікроскопії, атомно-силової мікроскопії та трибологічних випробувань. Обговорено різні фізичні механізми, що сприяють цій еволюції, та їх зв'язок із теоретичними моделями й експериментальними дослідженнями тонких плівок, індукованих іонами.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"