Наношаруваті Ti - B/С плівки було отримано методом магнетронного на постійному струмі осадження за послідовного розпилення мішеней TiB2 та графіту. Плівки осаджували на кремнієві пластини з орієнтацією (100), до яких прикладали негативний потенціал зміщення 50 В і які були попередньо нагріті до 400 <$E symbol Р>С. Робочі параметри для мішені TiB2 були незмінними, а для графітової мішені струм розпилення змінювали в інтервалі 50 - 200 мА. Методами рентгенівської дифракції, рентгенівської фотоелектронної спектроскопії, вимірювання твердості та трибологічних тестів досліджено структуру, хімічні зв'язки, твердість за Кнупом та коефіцієнт тертя в залежності від струму IC розпилення графітової мішені. В структурі плівок виявлено кристалічну фазу, яка відрізняється від TiB2. Максимальну твердість було досягнуто в зразку, осадженому за IC = 150 мА, а мінімальний коефіцієнт тертя - в зразку, осадженому за IC = 200 мА.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Іващенко Володимир Іванович (1956–) (фізико-математичні науки)
• Онопрієнко Олексій Олексійович (фізико-математичні науки)
• Скринський Петро Лукич (технічні науки)
• Синельниченко Олексій Корнійович (фізико-математичні науки)
• Ковальченко Андрій Михайлович (технічні науки)
• Оліфан Олена Ігорівна (фізико-математичні науки)
• Марчук Олександр Кирилович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"