Сердюк І. В. Модернізація технології вакуумно-дугового нанесення багатошарових наноструктурних покриттів / І. В. Сердюк, В. О. Столбовий, А. В. Доломанов, В. М. Домнич // Metallophysics and Advanced Technologies. - 2022. - 44, № 4. - С. 547-563. - Бібліогр.: 17 назв. - укp.Проведено модернізацію технології вакуумно-дугового нанесення багатошарових покриттів. Розроблено дослідний зразок пристрою, призначеного для управління роботою вакуумно-дугових випарників (плазмових джерел) та напускачів для напуску газів у вакуумну камеру у процесі нанесення простих і складних комплексних багатошарових наноструктурних вакуумно-дугових покриттів. Цей пристрій являє собою 2-канальний програмований цифровий пристрій, один з каналів якого керує роботою вакуумно-дугових випарників, а інший канал - роботою напускачів. Таким чином, є можливість одночасної роботи двох вакуумно-дугових випарників і двох напускачів газів. Товщину шарів вакуумно-дугового покриття, а також порядок їх нанесення можна регулювати режимами і тривалістю роботи каналів пристрою управління. Застосування даного пристрою надало змогу одержати багатошарові вакуумно-дугові WNbN/WNbC покриття з мікротвердістю 27 - 31 ГПа. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.05-18
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|